Обучение по специальности: Оператор диффузионных процессов

Характеристика работ. Ведение процессов диффузии примесей(бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическимметодом (под руководством рабочего высшей квалификации). Окисление пластинкремния в потоке газов и паров воды. Загрузка и выгрузка пластин кремния. Измерениетемпературы рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощьюконтрольно-измерительных приборов и термопар. Изготовление шлифов на пластинахкремния и определение по ним глубины диффузии. Вжигание металлизированныхконтактов (алюминий, золото) в кремний. Взвешивание диффузанта и его загрузка.

Должен знать: наименование, назначение важнейших частей ипринцип действия установок для проведения процессов окисления; назначение иусловия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактныхтермометров; методы определения толщины окислов по интерференционным полосам всравнении с таблицей; основные свойства полупроводниковых материалов (германий,кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и ихсоединения); основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов); принципдействия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом.

Примеры работ

1. Пластины кремния, германия - термообработка передфотолитографией.

2. Пленки окисные - получение методом контролируемогонизкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа.

3. Подложки - насыщение бором.

§ 16. Оператор диффузионных процессов 3-го разряда

Характеристика работ. Ведение процессов окисления, диффузиипримесей в один из видов полупроводникового материала на налаженномоборудовании определенного типа. Измерение толщины окисла и дрейфовой областикремниевых пластин. Изготовление косых и сферических шлифов, выявлениепереходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления иконцентрации примесей. Контроль режима диффузионного процесса. Загрузка ивыгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика. Контроль качествапластин после диффузии и окисления. Комплектация (формирование) партийэпитаксиальных структур.

Должен знать: устройство и способы подналадки обслуживаемыхоборудования и установок; методы измерения температуры в рабочей зонеустановки; степени осушки газа; свойства газов, применяемых материалов;основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемыхработ; влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев; устройствоприборов для контроля процесса; методы измерения поверхностного сопротивления;методы контроля толщины дрейфовой области.

Примеры работ

1. Диффузия золота.

2. Стекло боросиликатное - диффузия бора.

3. Стекла растворимые - диффузия сурьмы.

4. Структуры кремниевые - геттерирование с помощью пленкиSiO2 с одновременной диффузией никеля.

§ 17. Оператор диффузионных процессов 4-го разряда

Характеристика работ. Окисление и диффузия примесей вгерманий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразныхдиффузантов. Отжиг ионно-легированных слоев. Ведение процесса дрейфа ионовлития в пластины кремния. Одновременное проведение двух процессов окисления илидиффузии. Дозирование легирующих элементов. Подготовка газораспределительногопульта к работе. Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определениеточки росы и содержания кислорода в технологических газах). Наблюдение затемпературой и другими режимами и регулирование их. Определение неисправностейв работе оборудования. Измерение электрических параметров р-п переходов,резисторов и характеристик микросхем.

Должен знать: устройство установок с высокочастотнымнагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей;устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов(термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др.); методы измерениятемпературного профиля диффузионной печи; основные свойства полупроводниковыхматериалов (германий, арсенид галлия, кремний); свойства газов (водород, азот,кислород); основные свойства диффузантов; режимы процесса; способы и методыконтроля; элементарный расчет параметров диффузионных слоев; основные свойстваоксидных пленок, р-п, п-п переходов; методы их получения и контроля.

Примеры работ

1. Диффузия мышьяка, сурьмы.

2. Диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлоренаи из легированных пленок.

3. Диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора.

4. Диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременноепроведение процесса).

5. Кремний - окисление в парах HCl.

6. Пластины кремния - термическое окисление в печах типаСДО 125/3-12.

§ 18. Оператор диффузионных процессов 5-го разряда

Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии иокисления в диффузионных печах различных типов (в том числе с программнымуправлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.Составление программ проведения процесса. Введение легирующих присадок вкремний, германий, арсенид галлия. Обслуживание печей непрерывного действия,водородной, вакуумной установок. Измерение электропараметров БИС, СБИС итранзисторных структур. Проведение элементарного расчета параметровдиффузионных слоев. Анализ экспериментальных данных по результатам измеренийпараметров диффузионных слоев, окисных пленок. Контроль и корректировка режимовтехнологических процессов диффузии, окисления, отжига ионно-легированных слоев.Сборка, вакуумирование и отпайка кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором иих соединениями в качестве лигатуры. Сборка газовой системы и проверка еегерметичности. Определение неисправностей в работе оборудования и ихустранение.

Должен знать: электрические и газовые схемы обслуживаемогооборудования, правила его наладки на заданный режим; правила настройки ирегулирования приборов для контроля процесса; очистительную систему для газов,поступающих в установку; правила определения режимов работы; влияниехарактеристик диффузионных слоев на параметры получаемых приборов.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Диффузия цинка в парах мышьяка или фосфора в тройныесоединения.

2. Пластины кремния - диффузия бора, фосфора, мышьяка в печахс программным управлением типа СДО-125/3-15.

3. Пластины кремния - окисление при повышенном давлении;создание скрытых слоев; легирование сурьмой и мышьяком в печах с программнымуправлением.

4. Пластины кремния - создание подзатворного диэлектрика иконтроль его параметров.

§ 19. Оператор диффузионных процессов 6-го разряда

Характеристика работ. Ведение сложных процессов диффузии,окисления с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов.Обслуживание печей и установок любого типа, в т.ч. и с программным управлением.Обработка экспериментальных данных, построение графиков, таблиц постатистическим данным. Проведение расчета концентрационного профиля,поверхностной концентрации, типа проводимости слоев. Самостоятельное заданиережимов, самостоятельная работа на полярископе и лазерном элипсометре,определение плотности поверхностных состояний по вольт-емкостнымхарактеристикам при изготовлении канальных БИС. Расчет и экспериментальноеопределение профиля распределения примеси. Работы на автоматическихдиффузионных установках - налаживание, корректировка режимов в процессе работыи контроль.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки наточность оборудования и устройств различных типов для проведения процессадиффузии; теорию процессов диффузии и окисления; влияние различных параметровна характеристики диффузионных слоев; способы и методы определения годностипереходов; физико-химические свойства применяемых материалов; расчеты,связанные с проведением процессов диффузии.

Требуется среднее профессиональное образование.

§ 20. Оператор диффузионных процессов 7-го разряда

Характеристика работ. Ведение сложных высокотемпературныхпроцессов диффузии на оборудовании и оборудовании с микропроцессорнымпрограммным управлением с применением различных типов диффузантов. Ведениепроцесса окисления кремниевых пластин пирогенным способом. Расчет необходимыхпропорций кислорода и водорода в их смеси. Одновременное проведение трехпроцессов окисления или диффузии. Выбор способа формирования диэлектрика взависимости от назначения и требований нему. Получение р-п переходов и контрольих вольт-амперных характеристик на измерителе Л2-56. Сбор и обработкаинформации с помощью компьютера. Анализ причин возникновения брака на операцияхвысокотемпературных обработок и принятие мер по его устранению.

Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемогооборудования; назначение и условия применения контрольно-измерительногооборудования (спектрофотометры MPVSD, "Suzfscan", ЛЭФ-3М); назначениеокисных пленок и диффузионных слоев и требования к ним; факторы, определяющиескорость роста окислов; механизмы диффузии в полупроводниках; виды брака натермодиффузионных операциях, причины его возникновения и способы устранения;способы получения р-п переходов и методы определения их годности.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Изолирующий окисел - пирогенное окисление.

2. Диффузия фосфора в поликремний - легирование затвора.

Комментарии к профессии

Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Оператор диффузионных процессов» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция оператора диффузионных процессов, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).

Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).