Обучение по специальности: Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев

Характеристика работ. Ведение процесса наращиванияэпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев сопределенными параметрами на установках эпитаксиального наращивания. Подготовкаоборудования к работе, проверка оборудования на герметичность, загрузка иразгрузка подложек. Контроль и корректировка режима процесса наращивания.Проверка качества применяемых подложек, материалов. Ведение процесса газовоготравления. Замер температуры оптическим пирометром. Заправка испарителей SiCl4.Снятие и установка кварцевой оснастки на оборудовании различных типов.Проведение профилактики газовой системы. Замена баллонов.

Должен знать: устройство важнейших частей, принцип действияустановок эпитаксиального наращивания и контрольно-измерительных приборов;свойства химикатов, применяемых для наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических и металлических слоев; реакции, происходящие на поверхностиподложки в процессе наращивания; влияние примесей на качество эпитаксиальных,поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; способыградуирования ротаметров; методы измерения и регулирования температуры процессанаращивания испарителей, охлаждения реактора; правила работы с баллонами,магистральными газами и газовыми смесями.

Примеры работ

Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические,металлические слои - наращивание однослойных структур.

§ 22. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев 4-го разряда

Характеристика работ. Ведение процесса наращиванияэпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев всехтипов. Корректировка процесса наращивания по результатам контрольного процесса.Расчет скорости наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических и металлических слоев. Расчет концентрации легирующей примеси.Карбидизация графитовых нагревателей (пьедесталов). Приготовление растворовSiCl4 с определенной концентрацией легирующей примеси. Определение неисправностейв установках.

Должен знать: устройство и способы подналадки оборудованияразличных типов; методы наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических, металлических слоев и их свойства; свойства полупроводниковыхматериалов; свойства газов; методы измерения основных электрофизических иструктурных параметров эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических иметаллических структур; устройство, назначение и условия применения приборовдля контроля процесса, системы газораспределения и водяного охлаждения; влияниеконцентрации легирующей примеси на параметры эпитаксиальных структур,поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев; основыэлектротехники в пределах выполняемой работы.

Примеры работ

Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические иметаллические слои - наращивание структур со скрытыми слоями.

§ 23. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев 5-го разряда

Характеристика работ. Ведение процессов наращиваниямногослойных эпитаксиальных структур, диэлектрических слоев. Наращиваниесверхтонких поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев.Устранение разброса параметров слоев различными методами. Замена стаканов инастройка индукторов по температурному режиму на установках, использующихВЧ-нагрев. Настройка температурного режима процесса на установках, использующихинфракрасные и другие виды нагрева. Задание режимов на электронной системеуправления технологическим процессом.

Должен знать: электрическую и газовую схему обслуживаемогооборудования, способы ее проверки, основные неисправности и методы ихустранения; режимы и правила проведения процессов для получения сложных имногослойных эпитаксиальных структур, поликристаллических, диэлектрических,металлических слоев; правила настройки и регулировки приборов для контроляпроцесса, основы теории процесса эпитаксиального наращивания; правила работы сэлектронной системой управления технологическим процессом.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Структуры многослойные эпитаксиальные - наращивание сзаданными параметрами.

2. Структура многослойная диэлектрик-полупроводник -наращивание.

3. Слои тонкие эпитаксиальные - наращивание.

§ 24. Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев 6-го разряда

Характеристика работ. Самостоятельное ведение процессовполучения эпитаксиальных, диэлектрических, поликристаллических и металлическихслоев любого назначения на оборудовании различных типов. Проведение процессов,стимулированных плазмой, и процессов с использованием газообразных, жидкостныхи твердых источников. Проведение экспериментальных и опытных работ понаращиванию слоев. Самостоятельная корректировка режимов в процессе работы.Расчет концентрации легирующей примеси, расчет скорости потоков паров и газов,температурных режимов. Задание и корректировка режимов на электронной системеуправления технологическим процессом.

Должен знать: конструкцию, способы и правила наладкиразличных типов оборудования; правила работы с электронной системой управлениятехнологическим процессом; методы прецизионной обработки полупроводниковыхматериалов; методы расчета концентрации легирующей примеси; особенностипроцессов диффузии и наращивания эпитаксиальных, поликристаллических,диэлектрических и металлических слоев; конструкцию полупроводниковых приборов итвердых схем на основе эпитаксиальных структур; основы теории полупроводников;физические и химические основы технологических процессов наращивания.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Многослойные эпитаксиальные структуры - наращивание сразличными заданными параметрами.

2. Локальная эпитаксия - наращивание.

Комментарии к профессии

Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция оператора по наращиванию эпитаксиальных слоев, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).

Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).