Обучение по специальности: Оператор вакуумно-напылительных процессов

Характеристика работ. Напыление однослойных пленок металлови стекол на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек и масок безточного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки. Загрузканавесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций.Замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии.

Должен знать: назначение, устройство и правила эксплуатацииобслуживаемых установок; назначение и принцип работы применяемыхконтрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними;назначение процесса откачки; способы и методы контроля степени вакуума; режимыиспарения и осаждения распыляемого материала.

§ 10. Оператор вакуумно-напылительных процессов 3-го разряда

Характеристика работ. Напыление многослойных пленочныхмикросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок,экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесокиспаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различныхконструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контрольэлектрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемыхслоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Должен знать: устройство, принцип действия и способыподналадки обслуживаемого оборудования; устройство универсальных и специальныхприспособлений, контрольно-измерительных приборов; назначение процесса откачки;режимы испарения и осаждения распыляемого материала; способы и методы контролястепени вакуума; основные свойства и характеристики испаряемых материалов;основные законы электротехники и вакуумной техники.

Примеры работ

1. Кристаллические элементы кварцевых резонаторов -напыление.

2. Приборы квантовые - напыление трехслойных зеркал.

3. Подложки, пленки, ситалловые спутники - напылениеалюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролемкачества и толщины напыленного слоя.

4. Резисторы - напыление на ситалловую подложку черезмаску.

§ 11. Оператор вакуумно-напылительных процессов 4-го разряда

Характеристика работ. Напыление одного и нескольких слоевметаллов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическимраспылением. Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе смагнетронным способом напыления. Определение неисправностей в работе установоки принятие мер по их устранению. Корректировка режимов напыления по результатамконтрольного процесса. Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощьюконтрольно-измерительной аппаратуры. Определение качества напыленных слоев итолщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Должен знать: устройство вакуумных установок различныхмоделей; кинематику, электрические и вакуумные схемы; правила наладки ипроверки на точность обслуживаемого оборудования; устройство, назначение иусловия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов;конструкцию универсальных и специальных приспособлений; способы отысканиятечей; основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих,резистивных и изоляционных элементов микросхем; основы физического процессаполучения тонких пленок; основные виды брака и причины его возникновения.

Примеры работ

1. Конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома,многоокиси кремния.

2. Микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы- напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем:молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий,вольфрам-алюминий-вольфрам.

3. Микроструктуры многослойные пленочные - получениеметодом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок.

4. Пластины с заданным рельефом - получение методомтермического испарения трехслойного выпрямляющего контакта.

5. Платы анодные для люминесцентных индикаторов - напылениенескольких слоев металла (хром, никель, медь).

6. Пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия.

7. Приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал.

8. Фотошаблоны металлизированные - напыление хрома.

§ 12. Оператор вакуумно-напылительных процессов 5-го разряда

Характеристика работ. Напыление различными способами(термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронноенапыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий ссубмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выборомоптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологическойдокументации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение зарежимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации иподдержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качествапросветляющих пленок по эталону.

Должен знать: электрические и вакуумные схемы, способыпроверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок;конструкцию обслуживаемого оборудования; правила определения режимов работыоборудования для получения металлических, резистивных пленок; правила настройкии регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов;электрофизические свойства взаимодействия полупроводник - металл, металл -металл; основы электротехники и порядок работы вакуумной техники.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление.

2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 -нанесение одного слоя MgFe2 (просветление).

3. МДП-структуры - изготовление молибденового затвора.

4. Пластины C ч As - напыление Ag с подслоем Cr.

5. Пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевыхпокрытий.

6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ -транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно- или двухслойное напылениеразличными способами.

7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторнаябумага - напыление различных металлов на вакуумной установке.

8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки -напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия.

9. Подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равнойоптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%).

10. Приборы квантовые - напыление семи-, одиннадцатислойныхзеркал.

§ 13. Оператор вакуумно-напылительных процессов 6-го разряда

Характеристика работ. Напыление металлических, резистивныхи диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выборспособа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление,осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.).Отработка режимов напыления.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки наточность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур;методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса;правила определения режимов получения пленочных микроструктур; методы контроляпараметров пленок; физику процесса получения пленочных микроструктур различнымиспособами.

Требуется среднее профессиональное образование.

Примеры работ

1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы -изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной илимногослойной металлизацией.

2. Пластины кремния различных типов - сплавление содновременным нанесением алюминия.

3. Пластины со структурами - многослойное напыление наустановках различных типов.

4. Покрытия оптические - просветление трехслойноедвухстороннее.

5. Фильтры интерференционные - нанесение двухдвенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем лямбда/2.

§ 14. Оператор вакуумно-напылительных процессов 7-го разряда

Характеристика работ. Напыление металлических и окисныхпокрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью. Напыление тугоплавкихметаллов с образованием силицидов. Составление программ проведения процессанапыления с использованием ЭВМ. Замер поверхностного сопротивления силицидов ипленок металла. Определение отражающей способности пленки и коэффициентазапыления рельефа пленкой. Отработка режимов напыления пленки с получениемуказанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения),настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров.Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка. Отысканиетечей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации. Оценка качествавысокого вакуума.

Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемогооборудования; принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума;наладку и настройку контрольно-измерительных приборов; способы полученияпроводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки;влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок.

Требуется среднее профессиональное образование.

Комментарии к профессии

Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Оператор вакуумно-напылительных процессов» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция оператора вакуумно-напылительных процессов, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).

Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).